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電界放射型走査電子顕微鏡

Field Emission Electron Microscopy(FE-SEM)

電界放射型走査電子顕微鏡

概要

試料表面を細く絞った電子ビームで走査し、発生した2次電子量を測定することにより、試料表面の凹凸を反映した拡大像を得る装置です。

特徴

  • 低倍率から高倍率の観察が可能(20~800,000倍)。
  • 組成を反映した像が得られる〔反射電子像〕。
  • 元素分析ができ、マッピング像(各元素の分布を示す像)が得られる〔特性X線:EDX分析〕。
  • 非導電性試料は、導電処理が必要。

測定対象試料とサイズ

固体試料(高真空下において変形・変質するものやガスを放出するものは観察に向きません。)
100mmφ×30mm以下(これより大きい場合はご相談下さい。)

電子ビーム照射により試料から発生する情報
電子ビーム照射により試料から発生する情報

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