X線光電子分光分析装置
X-ray Photoelectron Spectroscopy，Electron Spectroscopy for Chemical Analysis （XPS，ESCA）
概要
試料にX線を照射すると、試料表面から光電子が放出されます。この光電子の運動エネルギー（Ek）を測定して、得られたスペクトルから構成元素、元素比率、化学結合状態を調べることができます。
特徴
- 分析深さは表面から数nm程度。（H，He以外の元素を検出）
- マッピング分析が可能。
- 深さ方向分析が可能。
- 測定は高真空中。
測定対象試料とサイズ
固体試料（高真空中で揮発する試料は測定に向きません。）
60mm×60mm×20mm以下（これより大きい場合は切断して測定します。）
注）取り扱い時、測定面の汚染に十分注意してください。
分析事例一覧
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