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透過型電子顕微鏡

Transmission Electron Microscopy(TEM)

透過型電子顕微鏡

概要

透過電子顕微鏡は、薄膜試料に電子線を透過させ、その際に試料中の原子により散乱・回折された電子を透過電子像として観察する装置です。電子線は試料(密度や結晶状態)により散乱・回折が異なることでコントラストが得られ、試料の内部構造を観察することができます〔図1〕。

特徴

  • 高分子材料の形態観察(モルフォロジー観察)に有効。
  • 電子染色により、組成を反映したコントラストとしてTEM観察が可能。
  • 薄膜の厚み測定(下塗り層の厚みなど)が可能。

測定対象試料とサイズ

材料全般(ポリマー・無機・複合などの各種材料)
(高真空下において変形・変質するものやガスを放出するものは観察に向きません。)
試料を電子線が透過可能な厚さ(約0.1µm)に加工できることが必須。

透過電子像イメージ(散乱コントラスト)

分析事例一覧

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