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電子線トモグラフィー

Transmission Electron Microtomography(3D-TEM)

透過型電子顕微鏡

概要

試料を連続的に傾斜させながら撮影した投影像(TEM像)をもとに計算機トモグラフィー法(CT)により3次元像を再構成し、材料の詳細な構造を解析する手法です〔図1〕。

特徴

  • 従来の2次元観察では困難であった立体的な情報(位置情報、表面形状、体積分率、粒度分布など)が評価可能。
  • 連続撮影した画像をアニメーションとして再生可能。

測定対象試料とサイズ

TEMにて観察可能である固体試料(連続TEM撮影時に変形・変質するものを除く。)
5×5×0.2µm以下(これより大きい場合はご相談下さい。)

3D-TEMの原理
3D-TEMの原理

分析事例一覧

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