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飛行時間型二次イオン質量分析装置

Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry(TOF-SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析装置

概要

試料にイオンビーム(1次イオン)を照射すると、試料表面から2次イオンが放出されます。2次イオンが検出器まで到達する時間(飛行時間)を測定することにより、質量スペクトルが得られます。これによって、試料表面の構成成分を調べることができます。

特徴

  • 極微量成分を検出可能(ppmオーダー)。
  • 有機物、無機物を同時検出。
  • 試料表面のイオン像(マッピング)を測定可能。
  • 測定は高真空中。

測定対象試料とサイズ

固体試料(高真空中で揮発する試料は測定に向きません。)
15mm×15mm×10mm以下(これより大きい場合は切断が必要です。)
注)取り扱い時、測定面の汚染に十分注意してください。

イオン化の原理と飛行時間型質量分析計
イオン化の原理と飛行時間型質量分析計

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