有機・高分子材料の形態観察、表面解析、組成分析は株式会社日東分析センターにお任せ下さい。

FIB-SEMを用いた手法は数10nm～数μmサイズの形態観察に対して威力を発揮します。本資料では、数10nmサイズの構造体に対して、高精度で三次元観察および解析を行った事例を紹介します。

燃料電池触媒層の三次元構造観察

新たな機能を発現させる有効な手段として、さまざまな材料中にナノメートルスケールの構造を導入することが検討されています。これらの材料開発を加速するためには、設計通りのナノ構造が形成されているかを三次元的に把握し、材料特性と相関付けた考察が重要となります。 その有力な手法として、“電子線トモグラフィー（3D-TEM）によるナノ材料の三次元構造解析”を紹介します。

触媒粒子の三次元分布状態の観察

機能性の向上を目的として、カーボン粒子やSi粒子の表面に様々な無機物質の担持・被覆処理が実施されますが、その頻度や形状を把握することは特性を制御する上で重要です。FE-TEMによる形態観察はナノ構造の観察に適していますが、透過像であるため、表面の凹凸形状を見落としてしまうことがあります。弊社保有のFE-TEM装置にはSEMの検出器も搭載されていますので、STEM像と同時にSEM像を取得することにより、表面の微細構造を確認しながら、分析領域を絞り込むことが可能です。

Zn含有成分を担持したカーボン粒子の観察

無機物において、その結合状態や酸化状態によって特性が異なることが多くあります。蓄電池をはじめとするエレクトロニクス分野でも、無機物の価数とその分布状態を調べたいというニーズがあります。ここでは、電子エネルギー損失分光法（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）を用いて薄膜全固体電池中でMnの価数を評価した事例を紹介します。

薄膜全固体電池中のMn価数分布

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