有機・高分子材料の形態観察、表面解析、組成分析は株式会社日東分析センターにお任せ下さい。

【表面分析】電子材料の局所表面が化学状態までわかります ~ESCA(XPS)~ (018)
ESCA(別名XPS)は一般的に微小部測定を苦手としますが、元素マッピングを併用することで数10μmφまでの局所に対して位置精度の高い表面分析が可能となります。その一例として窒化シリコンに囲まれた直径50μm程度のAlパッド表面について、不純物元素とその化学状態をESCAで評価した事例を紹介します。
分析事例:ICチップ上のアルミパッド部の分析_ESCA(XPS)

主要元素(N,Si,Al)についてマッピングを行い、その分布を確認した後〔図1〕、Alパッド部と周辺部(窒化シリコン)の分析
を行いました。定性〔図2〕および元素比率の算出結果〔表1〕から、有機物(C量)はAlパッド部のほうが多く、不純物元素(F)
はAlパッド部からのみ検出されることが明らかとなりました。また、CとAlの化学状態を解析した結果〔図3〕、Fは有機物由
来ではなく、 Alと結合した無機物由来であることがわかりました。


        (左図)図1 主要元素のマッピング像
        (右図)図2 ワイドスキャンスペクトルによる定性



        (左表)表1 元素比率の算出結果(atomic%)
        (右図)図3 CとAlの化学状態解析結果(Alパッド部)


高分子分析の中で、ESCA(XPS)分析で窒化シリコンに囲まれた直径50μm程度のAlパッド表面について、不純物元素とその化学結合状態を評価した事例をご紹介しました。
FE-AESにより、半田ボールの表面状態や半田ボールと導体の接合界面を評価した事例もございます。
 ⇒SEM-XMAより高分解能で精度よく元素分析できます_FE-AES(015)
  
 ⇒有機薄膜の深さ方向分析が可能です_ESCA(XPS)(030)
  
印刷用データはこちら

お問い合わせ・ご相談

形態観察、表面分析、組成分析など、評価・分析に関するご質問・ご依頼は、
お気軽にお問い合わせください。

  • ご依頼・お問い合わせ
  • ご依頼の流れ 営業所・分析拠点案内

ページトップへ戻る