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【表面分析】サブミクロンの微小部の化学状態がわかります ~FE-AES~ (083)
FE-AES(オージェ電子分光)を用いて、CuとSnの分析を行いました。深さ方向分析やマッピングを行うことで化学状態別の元素分布を調べることができます。
分析事例1 :Cuめっき表面の酸化膜評価_FE-AES
ここではCu表面に形成した酸化膜について、深さ方向分析を行いました。図1-aに示すようにCuの酸化物はFE-AESで区別することが可能です。図1-bに示す結果では、表面側からCuO→Cu2O→Cu(metal)と酸化の度合いが変化していることがわかります。

   (左図)図1-a Cu標準試料のスペクトル
   (右図)図1-b Cuめっきの化学状態別デプスプロファイル
分析事例2 :Snの酸化状態分布評価_FE-AES
次に、Snの酸化状態[Sn(metal)、SnO、SnO2]をマッピングにより調べました。FE-AESを用いて、図2のように化学状態別の元素分布を明瞭にとらえることができます。

図2 表面SEM像と化学状態別マッピング像

その他の応用
・多層膜における深さ方向の化学状態評価
・微小異物の酸化状態評価


高分子分析の中で、FE-AES(オージェ電子分光)を用いて深さ方向分析やマッピングを行うことで、CuやSnの化学状態別の元素分布を調べた事例をご紹介しました。
C60クラスターイオンをスパッタ源に用いたESCA(XPS)分析による有機薄膜の深さ方向分析には、次のような事例もございます。
 ⇒有機薄膜の深さ方向分析が可能です_ESCA(XPS)(030)
  
 ⇒深さ方向の分析が低損傷で行えます_ESCA(XPS)(002)
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