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【元素分析】半導体封止樹脂中のTh、U分析 100pptの定量ができます ~ICP-MS~ (047)
半導体封止樹脂中のフィラーには、シリカが使用されています。このシリカ中のTh、Uはα線の発生源となり、半導体ソフトエラーの原因となるため、 Th、U量を把握する必要があります。このような試料に対して灰化・酸溶解を行うと、対象成分であるTh、Uのみを抽出でき、ICP-MSを用いたTh、Uの100pptの定量が可能となりました。ここでは、この半導体封止樹脂中のTh、U分析事例を紹介します。
分析事例:半導体封止樹脂中のTh、U分析分析_ICP-MS



繰り返し再現性(回収率)



その他の応用

・RoHS分析(Cd,Pb,Cr,Hgの定量)
・有機溶媒中の不純物元素分析
・ガラスの成分分析
・はんだ(Pbフリーはんだ)の成分分析
・定性/半定量分析

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