有機・高分子材料の形態観察、表面解析、組成分析は株式会社日東分析センターにお任せ下さい。

【形態観察】新規FE-(S)TEMで微小領域の分析がハイスループットに行えます ~新規FE-(S)TEM~ (131)
概要

試料内部の微小領域の観察・元素分析が可能な電界放出型(走査)透過電子顕微鏡;FE-(S)TEMを新規に導入しました。ナノメートルオーダーの内部形態観察(各種形状、寸法評価),結晶性評価,元素分布,化学結合状態をハイスループットかつ精度よく調べることができます。以下に当社で導入した装置の概要を紹介いたします。
性能・仕様

現有装置の既存性能に加え、新たな機能(※)が付加されました。

図1に装置外観、表1に性能・仕様を示しました。新規FE-(S)TEMでは、以下の7つの測定が可能です。
1.ナノメートルオーダーの微細構造を高分解能で観察することができます。
2.電子線回折図形により、試料の結晶構造の評価、物質の同定を行うことができます。
3.Cryoホルダーを用いることで、電子線照射によるダメージを低減させて分析することができます。
4.STEM像(明視野,暗視野)の測定により、試料の組織,組成分布(Zコントラスト像の観察※)を調べることができます。
5.電子線トモグラフィー測定により、ナノメートルオーダーの三次元形態、三次元元素分布※を調べることができます。
6.大面積シリコンドリフト検出器(100 mm2×2台)を用いたEDX分析により、短時間にナノメートルオーダーの局所領域の元素分布を分析※することができます。
7.新たに搭載したEELS検出器により、軽元素の点分析※,元素分布※,化学結合状態※を調べることができます。


(左)図1.新規FE-(S)TEMの外観
(右)表1.FE-(S)TEMの性能・仕様
試料について

・試料は粒状(数100 nm以下)、薄膜状(もしくは薄膜化可能な材料)であれば分析可能です。
応用事例

・多層膜の層構成評価(膜厚、構成元素など)
・粒子(触媒など)の形状評価(粒子のサイズ・形状、触媒の担持状態、構成元素など)
・有機/無機材料の接着界面の解析
・金属, セラミックス材料の粒界の解析  など
印刷用データはこちら

お問い合わせ・ご相談

形態観察、表面分析、組成分析など、評価・分析に関するご質問・ご依頼は、
お気軽にお問い合わせください。

  • ご依頼・お問い合わせ
  • ご依頼の流れ 営業所・分析拠点案内

ページトップへ戻る