有機・高分子材料の形態観察、表面解析、組成分析は株式会社日東分析センターにお任せ下さい。

【表面分析】原子ステップの観察ができます ~SPM~ (139)
 近年、注目を集めている材料の中にグラフェンを代表とする低次元物質系があります。低次元物質はその特異な物性、電子構造により電子デバイスやフレキシブル透明電極、センサーなどへの応用が期待されています。低次元物質の評価には各種分光法や顕微鏡法が利用され、走査型プローブ顕微鏡(SPM)もその1つです。SPMは、積層状態や電位状態の評価、電子デバイス化した際のin situ分析などに利用されています。今回は、最も基本的な形状観察から単原子ステップの観察事例を紹介します。
分析事例:グラフェンのAFM観察

 試料はシリコン基板上にテープ剥離法により転写したグラフェンです。光学顕微鏡下で確認できるグラフェンをSPMにて観察したところ、テラスステップ構造が確認できました〔図1〕。断面プロファイルから、シリコン基板とグラフェンの段差が約0.3nmと見積もられました〔図2〕。この数値はグラフェン1層の理論値(0.335nm)に近いことがわかりました。SPMは高さ方向の分解能が高く、低次元物質の評価に有効です。

図1 Siウエハ上のグラフェンのAFM像(3μm□スキャン)


図2 図1赤線部の断面プロファイル

印刷用データはこちら

お問い合わせ・ご相談

形態観察、表面分析、組成分析など、評価・分析に関するご質問・ご依頼は、
お気軽にお問い合わせください。

  • ご依頼・お問い合わせ
  • ご依頼の流れ 営業所・分析拠点案内

ページトップへ戻る