マルチプラズマFIB-SEM　高い位置精度で広範囲の断面加工、大領域での三次元観察が可能

日東分析センターでは、「あらゆる「モノ」を可視化して、世界に役立つ「コト」をつくる」を経営理念のビジョンとし、分析評価の技術開発に注力しています。

今回、新たに導入したマルチプラズマFIB-SEM （PFIB-SEM）では、高い位置精度で広範囲の断面加工、大領域での三次元観察が可能です。
これにより、従来のGaイオンと比較して高い電流値(最大40倍)での加工が可能となり、短時間で広範囲の断面作製を実現できるようになりました。

さらに、以下の４つの特長により、多種多様な試料に対応できるようになりました。

• 同一面積で比較すると加工時間が1/5~1/10に短縮
• Gaイオンでは困難であった大領域での三次元観察に対応可能
• イオン種を切り替えることで、材料に最適な断面加工条件を選択可能
• クライオシステムの搭載により、ソフトマテリアルからハードマテリアル、それらの複合材料の分析に対応

分析評価技術において最高のパフォーマンスを発揮し、お客様製品の開発スピードと品質を向上させるため、常に新規技術開発を進めています。

詳細については、以下のPDFよりご確認ください。

マルチプラズマFIB-SEM