電子線トモグラフィー
Transmission Electron Microtomography（3D-TEM）
概要
試料を連続的に傾斜させながら撮影した投影像（TEM像）をもとに計算機トモグラフィー法（CT）により3次元像を再構成し、材料の詳細な構造を解析する手法です〔図1〕。
特徴
- 従来の2次元観察では困難であった立体的な情報（位置情報、表面形状、体積分率、粒度分布など）が評価可能。
- 連続撮影した画像をアニメーションとして再生可能。
測定対象試料とサイズ
TEMにて観察可能である固体試料（連続TEM撮影時に変形・変質するものを除く。）
5×5×0.2µm以下（これより大きい場合はご相談下さい。）
分析事例一覧
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