電子線トモグラフィー

概要

試料を連続的に傾斜させながら撮影した投影像（TEM像）をもとに計算機トモグラフィー法（CT）により3次元像を再構成し、材料の詳細な構造を解析する手法です〔図1〕。

特徴

• 従来の2次元観察では困難であった立体的な情報（位置情報、表面形状、体積分率、粒度分布など）が評価可能。
• 連続撮影した画像をアニメーションとして再生可能。