ナノ構造を有する材料の3次元構造を定量的に把握できます

新たな機能を発現させる有効な手段として、さまざまな材料中にナノメートルスケールの構造を導入することが検討されています。これらの材料開発を加速するためには、設計通りのナノ構造が形成されているかを3次元的に正確に把握し、材料物性との綿密な比較が重要となります。その有力な手段として、“電子線トモグラフィー（3D-TEM）によるナノ材料の3次元構造解析”をご紹介いたします。

金属担持粒子における金属分散性評価

試料を連続的に傾斜させながら撮影したTEM像をもとに、計算機トモグラフィーの原理により再構成した3次元像を図1に、解析結果を図2に示します。図1から、金属ナノ粒子がポリマービーズ表面を覆う割合が判ります。さらに、各緯度上の粒子の個数をカウントすることで、粒子の分布状態を定量的に解析することが可能となりました。