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誘導結合プラズマ発光分析装置
Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrometry(ICP-AES)

ICP発光分析は、代表的な無機元素分析の一つであり、多くの元素に対してppbレベルの高感度分析ができるだけでなく、他の分析法と比較して共存物質の影響を受け難く、多元素同時分析(最大72元素)に適しています。従って鉄鋼、合金、半導体、有機ポリマー、生体物質、環境試料などあらゆる材料に対して広く応用されています。


石英ガラス製の放電管(トーチ)に誘導コイルを巻き付けそのコイルに27.12MHzの電流を通すと誘導電場が発生します。トーチ内にアルゴンガスを導入すると、アルゴン原子は、電離しプラズマ状態となります。ネブライザで霧状にした溶液(一般に水溶液)をアルゴンプラズマ中に導入すると、溶液中に存在していた金属元素、半金属元素は、6000~7000℃の熱で原子化されるとともに励起され、軌道電子は、エネルギーの高い軌道に移ります。この電子は、10-8秒後により低いエネルギーの軌道に移り、このとき各元素固有の波長の光を放出します。この発光線を検出することより、波長から定性分析を、発光強度から定量分析を行なうことができます。


水溶液試料の場合、前処理は、必ずしも必要ありませんが、固体試料の場合、乾式分解や湿式分解により水溶液に変えてから測定します。また次のような特殊な溶液も測定することができます。


【1】フッ酸水溶液
フッ酸は石英ガラス製のネブライザやトーチを侵しますが、フッ酸導入システムを使うことにより測定可能となります。


【2】有機溶媒溶液
有機溶媒用トーチを使うことにより、酢酸エチルやトルエンに溶解した試料をそのまま測定することができます。

誘導結合プラズマ発光分析装置

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