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Arガスクラスターイオンビーム-飛行時間型2次イオン質量分析装置

Ar Gas Cluster Ion Beam Time-Of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (Ar-GCIB-TOF-SIMS) 

Arガスクラスターイオンビーム-飛行時間型2次イオン質量分析装置

概要

アルゴンガスクラスターイオンビーム(Ar-GCIB)を用いて有機材料表面をエッチングした後、飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)により質量スペクトルを取得します。これを繰り返すことによって、有機薄膜中の各種成分の深さ方向分布を調べることができます。

特徴

  • 有機材料中の各種成分(ポリマー、添加剤など)の深さ方向分布を精密に評価できる。
  • エッチングレートを変化させることによって、薄膜(数十nm)から厚膜(数µm)まで分析可能。

測定対象試料とサイズ

固体の有機材料(無機材料はほとんどエッチングされないため分析不可。)
15mm×15mm×10mm以下(これより大きい場合はご相談ください。)

デプスプロファイル測定の模式図
デプスプロファイル測定の模式図

分析事例一覧

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