Arガスクラスターイオンビーム-飛行時間型2次イオン質量分析装置
Ar Gas Cluster Ion Beam Time-Of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (Ar-GCIB－TOF-SIMS)
概要
アルゴンガスクラスターイオンビーム（Ar-GCIB）を用いて有機材料表面をエッチングした後、飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）により質量スペクトルを取得します。これを繰り返すことによって、有機薄膜中の各種成分の深さ方向分布を調べることができます。
特徴
- 有機材料中の各種成分（ポリマー、添加剤など）の深さ方向分布を精密に評価できる。
- エッチングレートを変化させることによって、薄膜（数十nm）から厚膜（数µm）まで分析可能。
測定対象試料とサイズ
固体の有機材料（無機材料はほとんどエッチングされないため分析不可。）
15mm×15mm×10mm以下（これより大きい場合はご相談ください。）
分析事例一覧
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