ソリッドネブライザー誘導結合プラズマ質量分析装置

概要

サンプルをフェムト秒レーザーにてアブレーション(溶融,蒸発)し、プラズマ中でイオン化した元素を質量対電荷比（m/z）から定性分析、イオン強度から定量分析を行う装置です。

特徴

• 固体試料の任意の位置における微量元素濃度を取得可能（局所や積層体内部など）
• サンプル表面方向の濃度分布をマッピング像として可視化
• サンプル深さ方向の濃度分布をデプスプロファイルとして可視化

測定対象と必要量：固体(1cm²以上)
測定雰囲気：大気圧下（Heキャリア）
空間分解能（レーザー径）：10μm
検出元素：Li ～ C， F ～ U
定量下限値：ppb ～ （元素種により異なる）
測定面積：μmオーダー ～ cmオーダー
測定深さ:：50μm程度 （試料材質により異なる）

※ サンプル性状や分析目的に応じても異なりますので、お問い合わせください