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ソリッドネブライザー/誘導結合プラズマ質量分析装置

Solid Nebulizer-Inductively Coupled Plasma/Mass Spectrometry ( SN-ICP/MS)

概要

サンプルをフェムト秒レーザーにてアブレーション(溶融,蒸発)し、プラズマ中でイオン化した元素を質量対電荷比(m/z)から定性分析、イオン強度から定量分析を行う装置です。

特徴

  • 固体試料の任意の位置における微量元素濃度を取得可能(局所や積層体内部など)
  • サンプル表面方向の濃度分布をマッピング像として可視化
  • サンプル深さ方向の濃度分布をデプスプロファイルとして可視化

測定対象試料と必要量および装置原理

測定対象と必要量:固体(1cm2以上)
測定雰囲気:大気圧下(Heキャリア)
空間分解能(レーザー径):10μm
検出元素:Li ~ C, F ~ U
定量下限値:ppb ~ (元素種により異なる)
測定面積:μmオーダー ~ cmオーダー
測定深さ::50μm程度 (試料材質により異なる)

※ サンプル性状や分析目的に応じても異なりますので、お問い合わせください

分析事例一覧

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