冷却集束イオンビーム/走査型電子顕微鏡複合装置
Cryo Scanning Electronscopy Combined with Focused Ion Beam(Cryo FIB-SEM)

概要
集束イオンビーム(FIB)での微細加工および走査型電子顕微鏡(SEM)による高分解能観察を同時に行える複合装置です。
特徴
- TEM分析用薄膜試料の高精度調製が可能。
- クライオシステムにより、ソフトマテリアルからハードマテリアルまで、多種多様な試料の分析に対応。
- サブミクロンからミクロンレベルの3D構造観察、定量解析が可能(FIB断面加工と断面SEM観察の反復により連続断面SEM像を取得し、3D再構成を行う〔図〕。
測定対象試料とサイズ
- -130℃以上、高真空下において固体として存在する試料(Ga+イオン、電子線照射時に変形・変質するものは分析に向きません。)
- 直径150mm×厚さ20mm(観察体積は最大20×20×20µm3程度)

分析事例一覧
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