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冷却集束イオンビーム/走査型電子顕微鏡複合装置

Cryo Scanning Electronscopy Combined with Focused Ion Beam(Cryo FIB-SEM)

冷却集束イオンビーム/走査型電子顕微鏡複合装置

概要

集束イオンビーム(FIB)での微細加工および走査型電子顕微鏡(SEM)による高分解能観察を同時に行える複合装置です。

特徴

  • TEM分析用薄膜試料の高精度調製が可能。
  • クライオシステムにより、ソフトマテリアルからハードマテリアルまで、多種多様な試料の分析に対応。
  • サブミクロンからミクロンレベルの3D構造観察、定量解析が可能(FIB断面加工と断面SEM観察の反復により連続断面SEM像を取得し、3D再構成を行う〔図〕。

測定対象試料とサイズ

  • -130℃以上、高真空下において固体として存在する試料(Ga+イオン、電子線照射時に変形・変質するものは分析に向きません。)
  • 直径150mm×厚さ20mm(観察体積は最大20×20×20µm3程度)
FIB-SEMによる3D構造観察の原理
FIB-SEMによる3D構造観察の原理

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