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蛍光X線分析装置
X-Ray Fluorescence spectrometry(XRF)

蛍光X線分析装置は、各種材料中に含まれているB(ボロン)からU(ウラン)までの元素を数百~数ppmオーダーで分析ができる装置であり、最近では材料中のPb、Cd 、Crなどの環境負荷物質の簡易同定などにも応用されています。


試料にX線(1次X線)を照射すると、原子の内殻軌道上の電子は外側へはじき出され、そこにエネルギーレベルのより高い外殻軌道の電子が落ちてきます。この時、軌道電子のエネルギー差に相当する元素特有の波長を有した蛍光 X線(特性X線)が発生し、これを分光結晶で分光しX線の波長を調べることにより元素の特定ができます。


蛍光X線分析の特徴は、[1]分析が迅速、[2]試料準備が容易、[3]非破壊分析、[4]ファンダメンタルパラメーター(FP)法を用いて標準試料なしに半定量が可能、などが挙げられます。また、蛍光X線の強度は元素濃度に比例しているため、X線強度を測定することにより定量分析が可能です。


弊社の装置は1次X線ターゲットとしてRhとCrを装着し、各種分光結晶を取り揃えていることから、重元素から軽元素まで高感度な分析ができます。加えて、CCDカメラを装着しており、画像を確認しながらピンポイント分析(最小500φμm)や広範囲(20mm×20mm)の元素マッピング測定も可能です。さらに、固体~液体試料まで、あらゆる形状の種々材料まで分析手法のノウハウを蓄積しております。

蛍光X線分析装置

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