材料表面の分析・解析
各種材料表面の化学的性質は、材料そのものの性質を知るうえで重要な位置を占めています。従って、表面分析は材料開発にとって不可欠な手段になっています。当社は、多種多様のプラスチックや電子材料の表面分析の経験と蓄積されたデータを持っています。
分析
最表面の分析
X線光電子分光分析装置 (XPS，ESCA)
元素分析
構成元素分析の定性、定量
- 分析径：100～200μm（ミクロ分析の場合は10～100μm）
- 深さ：数nm
- 検出限界：0.1～0.2%
- 費用目安：7.5～12万円/検体
化学状態
有機物の官能基分析、金属の酸化状態など
- 分析径：100～200μm（ミクロ分析の場合は10～100μm）
- 深さ：数nm
- 検出限界：0.1～0.2%
- 費用目安：1.5万円加算/検体
化学状態
化学修飾法によるCOOH, OH, NH₂の定量
- 分析径：100～200μm（ミクロ分析の場合は10～100μm）
- 深さ：数nm
- 検出限界：0.1～0.2%
- 費用目安：11.4～12.2万円加算/検体
微小部測定（100μm以下）
- 分析径：100～200μm（ミクロ分析の場合は10～100μm）
- 深さ：数nm
- 検出限界：0.1～0.2%
- 費用目安：2.5万円加算/検体
飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
組成分析
構成元素（H～U）、有機物の定性
- 分析径：数μm～500μm
- 深さ：1nm
- 検出限界：ppm～数％
- 費用目安：12.5～20万円/検体
分布分析
構成元素、有機物のマッピング
- 分析径：数μm～500μm
- 深さ：1nm
- 検出限界：ppm～数％
- 費用目安：2.5万円加算/検体
電界放射型オージェ電子分光分析装置(FE-AES)
元素分析
構成元素の定性、定量
- 分析径：数10nm～数10μm
- 深さ：数nm
- 検出限界：0.1～1％
- 費用目安：6～10万円/検体
分布分析
構成元素のマッピング
- 分析径：数10nm～数10μm
- 深さ：数nm
- 検出限界：0.1～1％
- 費用目安：8.5～10.5万円加算/検体
SEM-XMA
元素分析
構成元素の定性、定量、マッピング
- 分析径：1μm
- 深さ：1μm
- 検出限界：0.1～数％
- 費用目安：4万円～/検体
深さ方向分析
X線光電子分光分析装置(XPS，ESCA)
角度分解法
10nmより浅い層の元素濃度分布、化学状態の分布
- 分析径：数10μm～200μm
- 費用目安：13万円/検体
Arイオンエッチング法
深さ0.5μm程度までの元素濃度分布、化学状態の分布
- 分析径：数10μm～200μm
- 費用目安：15万円/検体
C₆₀イオンエッチング法
有機物の深さ0.1μm程度までの元素濃度分布、化学状態の分布
- 分析径：数10μm～100μm
- 費用目安：24.5万円/検体
飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
斜め切削法、Arガスクラスターイオンエッチング法
深さ数10nm～数μmの領域の成分分布
- 分析径：数μm～500μm
- 費用目安：20～35万円/検体
電界放射型オージェ電子分光分析装置(FE-AES)
深さ2μm程度までの元素濃度分布
- 分析径：数10nm～数10μm
- 費用目安：6.5～11.5万円/検体
総合解析
各種分析結果を総合して、試料表面の状態を解析します。
※試料の表面汚染は測定データに影響を与えます。試料の測定面は、非接触の状態でお渡し下さい。試料により前処理、分析手法や料金が異なる場合があります。詳細につきましてはお問合せください。
