電界放射型透過電子顕微鏡
Field Emission Transmission Electron Microscopy（FE-TEM）
概要
試料に電子ビームを透過させ、主にその内部構造を高倍率（ナノ領域）で観察する装置です。
特徴
- 試料の形状、表面構造、凝集度合い、結晶パターン、格子欠陥の存在および結晶の配向方位が得られる。
- EDXにより局所領域（ビーム径：１nmφ）での元素分析が可能。
測定対象試料とサイズ
金属、高分子、複合材料など
（高真空下において変形・変質するものやガスを放出するものは観察に向きません。）
試料を電子線が透過可能な厚さ（約0.1µm）に加工できることが必須。
分析事例一覧
- 多層フィルムの層構成や微細構造を確認できます
- 液状サンプルをありのままの状態でTEM観察することができます
- トナーの形態・内部構造の観察が可能です
- 高分子材料の内部構造観察が可能です
- ナノメートルオーダーの内部形態を三次元で観察できます
- ナノメートルオーダーの内部形態観察が可能です
- 3D-TEMによりナノ粒子を三次元観察することができます
- ナノ構造の透過像と表面像が同時に得られます
- 元素の価数とその分布状態がわかります
- 空間分解能1nmで材料の状態解析ができます
- 新規FE-(S)TEMで微小領域の分析がハイスループットに行えます
- 有機ELディスプレイの断面構成がわかります
- リチウムイオン電池の電極断面形態を大気非暴露下で評価できます
- 金属蒸着膜の結晶状態を可視化できます
お問い合わせ・ご相談
- 大阪：072-623-3381
- 中部：0532-41-7249
- 東京：03-6632-2066
受付時間：9:00～17:30（土・日・祝祭日・年末年始・夏季休暇・弊社休業日を除く）
高分子分析、形態観察、表面分析、組成分析など、評価・分析に関するご質問・ご依頼はお気軽にお問い合わせください。