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電界放射型透過電子顕微鏡

Field Emission Transmission Electron Microscopy(FE-TEM)

電界放射型透過電子顕微鏡

概要

試料に電子ビームを透過させ、主にその内部構造を高倍率(ナノ領域)で観察する装置です。

特徴

  • 試料の形状、表面構造、凝集度合い、結晶パターン、格子欠陥の存在および結晶の配向方位が得られる。
  • EDXにより局所領域(ビーム径:1nmφ)での元素分析が可能。

測定対象試料とサイズ

金属、高分子、複合材料など
(高真空下において変形・変質するものやガスを放出するものは観察に向きません。)
試料を電子線が透過可能な厚さ(約0.1µm)に加工できることが必須。

電子ビーム照射による試料から発生する情報
電子ビーム照射による試料から発生する情報

分析事例一覧

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