金属蒸着膜の結晶状態を可視化できます
基板上金属蒸着膜の蒸着膜のみをTEM観察用にサンプリングできます。
透明電極として広く用いられるITO膜は、 その結晶性が膜の特性に大きく影響することが知られています。厚さ数十nmの超薄膜であるため、XRDなどの分析が困難でしたが、当社ではITO膜のみを直接TEM分析することが可能です。ITO膜を直接TEM観察することで、ITO膜の結晶性に関する詳細な知見が得られます。
PET基材上ITO膜のTEM分析_TEM
非晶性ITO膜
非晶性の膜中にも微結晶が含まれている場合があります。TEM観察によって、微結晶の大きさや分布の状態が明確になります。
結晶性ITO膜
TEM観察では結晶性・非晶性を容易に判別できます。TEM観察によって非晶性ドメインの有無や結晶グレインの大きさなど、XRD等では得られない情報が明確化されます。
剥離したITO膜を、FE-TEMよって高分解能観察・分析することも可能です。結晶粒界の状態等に関する知見も得られます。
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