多種フィラー含有樹脂の3D-EDX分析

複数種類のフィラーを含有する樹脂について、FIB-SEMとEDXで三次元観察した事例を紹介します。
3D-SEM像では、分散しているフィラーの種類を判別できませんが、同時にEDX元素マッピングを取得すると、3D-EDX像から構成元素を認識でき、フィラーを区別することができます。
元素ごとに像を抽出することも可能なので、各種フィラーの形状やサイズ分布などの情報を得ることも可能です。
各相の状態を三次元観察・評価で正確に把握し、材料設計にフィードバックすることができます。