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X線光電子分光分析装置

X-ray Photoelectron Spectroscopy,Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (XPS,ESCA)

X線光電子分光分析装置

概要

試料にX線を照射すると、試料表面から光電子が放出されます。この光電子の運動エネルギー(Ek)を測定して、得られたスペクトルから構成元素、元素比率、化学結合状態を調べることができます。

特徴

  • 分析深さは表面から数nm程度。(H,He以外の元素を検出)
  • マッピング分析が可能。
  • 深さ方向分析が可能。
  • 測定は高真空中。

測定対象試料とサイズ

固体試料(高真空中で揮発する試料は測定に向きません。)
60mm×60mm×20mm以下(これより大きい場合は切断して測定します。)
注)取り扱い時、測定面の汚染に十分注意してください。

装置概略図
装置概略図

分析事例一覧

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