電界放射型オージェ電子分光分析装置
Field Emission Auger Electron Spectroscopy（FE-AES）
概要
試料に電子ビームを照射し、表面から放出されるオージェ電子を検出する表面元素分析装置です。
特徴
- 表面分析の中で最も微小な領域（最小分析径は10nm）の元素分析が可能。
- 極表面層の元素（Li以上）を検出可能。
- 線分析、面分析、深さ方向分析が可能。
- 化学結合状態に関する情報も得られる。
- 測定は高真空中。
測定対象試料とサイズ
直径1インチ、厚み10mm以下（これより大きい場合はご相談下さい。）
（高真空中で揮発する試料は測定に向きません。）
注）取り扱い時、測定面の汚染に十分注意してください。
分析事例一覧
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