サブミクロンの微小部の化学状態がわかります

FE-AES(オージェ電子分光)を用いて、CuとSnの分析を行いました。深さ方向分析やマッピングを行うことで化学状態別の元素分布を調べることができます。

Cuめっき表面の酸化膜評価

ここではCu表面に形成した酸化膜について、深さ方向分析を行いました。図1-aに示すようにCuの酸化物はFE-AESで区別することが可能です。図1-bに示す結果では、表面側からCuO→Cu2O→Cu（metal）と酸化の度合いが変化していることがわかります。

Snの酸化状態分布評価

次に、Snの酸化状態［Sn（metal）、SnO、SnO2］をマッピングにより調べました。FE-AESを用いて、図2のように化学状態別の元素分布を明瞭にとらえることができます。

その他の応用

• 多層膜における深さ方向の化学状態評価
• 微小異物の酸化状態評価