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誘導結合プラズマ質量分析装置
Inductively Coupled Plasma/Mass Spectrometry(ICP-MS)

1. 概要

金属元素をプラズマ中でイオン化させたものを質量分析計に導入し、質量対電荷比(m/z)から定性分析、イオン強度から定量分析を行う装置です。


2. 特徴

・希ガス、ハロゲン、窒素、酸素などの元素を除く約70元素について高感度分析
 (ppb~pptレベル)が可能。
・高速で定性分析(半定量分析)が可能。
・同位体比の測定が可能。


3. 測定対象試料と必要量
水溶液試料:20~50mL程度
固体試料:1~5g程度(フッ素系試料を除く。)(これより少ない場合はご相談
ください。)
注)試料を溶液化する必要があります。溶液化できない試料は抽出法により分析を行います。

誘導結合プラズマ質量分析装置

分析事例

半導体封止樹脂中にTh,U分析 100pptの定量ができます (047)

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