半導体封止材中のTh、U分析 100pptの定量ができます
半導体封止材中のフィラーには、シリカが使用されています。このシリカ中のTh、Uはα線の発生源となり、半導体ソフトエラーの原因となるため、 Th、U量を把握する必要があります。このような試料に対して灰化・酸溶解を行うと、対象成分であるTh、Uのみを抽出でき、ICP-MSを用いたTh、Uの100pptの定量が可能となりました。ここでは、この半導体封止材中のTh、U分析事例を紹介します。
半導体封止材中のTh、U分析分析


繰り返し再現性(回収率)


その他の応用
- 有機溶媒中の不純物元素分析
- ガラスの成分分析
- はんだ(Pbフリーはんだ)の成分分析
- 定性/半定量分析
お問い合わせ・ご相談
- 大阪:072-623-3381
- 中部:0532-41-7249
- 東京:03-6632-2066
受付時間:9:00~17:30(土・日・祝祭日・年末年始・夏季休暇・弊社休業日を除く)
高分子分析、形態観察、表面分析、組成分析など、評価・分析に関するご質問・ご依頼はお気軽にお問い合わせください。