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【形態観察】複合材料(アルミニウム蒸着層)の観察が行えます ~IP-SEM~ (096)
材料の内部組織,内部フィラーの分散性,異常構造などを確認するには、走査型電子顕微鏡(SEM)による材料の断面形態評価が有効となります。断面作製には複数の方法がありますが、試料によっては塑性変形が生じ、本来とは異なる形態となってしまう可能性があります。一方、Arイオンビーム照射により断面作製を行うイオンポリッシング法は、塑性変形の無い良好な断面作製が可能であり、材料中の薄層を明瞭に観察する事ができます。
分析事例:アルミニウム蒸着フィルムの断面SEM観察_IP-SEM

アルミニウム蒸着積層フィルムの断面SEM像を下記に示します。ミクロトーム法では、切削時の応力により、内部フィラー粒子の脱落や引きずり、蒸着層には亀裂が生じていることがわかりました〔図1〕。イオンポリッシング法では、塑性変形が無く、インキ層内部に大きさ数10nm~500nmのフィラー粒子が存在し、インキ層とPP層の界面に約50nmの蒸着アルミ層が認められました〔図2〕。


           (左図上下)図1 アルミニウム蒸着フィルムの断面SEM像(ミクロトーム法)
           (右図上下)図2 アルミニウム蒸着フィルムの断面SEM像(イオンポリッシング法)

その他の応用

有機・無機複合材料、多層フィルムなど。


高分子分析の中で、アルミニウム蒸着フィルムを断面作製法の違い(ミクロトーム法とイオンポリッシング法)で断面SEM像を比較した事例をご紹介しました。
断面加工方法の違い(染色+ミクロトーム切断法、未染色+断面イオンミリング法、染色+断面イオンミリング法)での断面SEM像の比較には、次のような事例もございます。
 ⇒有機・無機複合材料の断面観察ができます_染色-SEM、IP-SEM(069)

 ⇒ミリメートルオーダーで塑性変形のない良好な試料断面作製ができます_IP-SEM(088)

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