基板・チップ
分析事例一覧
- 微小部を狙って元素の定性・定量分析を高感度で実施できます
- 水素雰囲気下での熱挙動がわかります
- メッキ中の機能性付与元素の分布を高感度で評価できます
- 段ボールから発生する微量の腐食系ガス成分を評価できます
- 難溶解性物質でもレーザー前処理による微量成分の定量が可能です
- 電子部品をそのままのサイズで高分解能に観察できます
- 非常に薄い表面付着物の組成がわかります
- ナノ~ミクロンオーダーの仕事関数分布がわかります
- ミリメートルオーダーで塑性変形のない良好な試料断面作製ができます
- 微量残渣の元素と化学構造がわかります
- 電子材料の局所表面が化学状態までわかります
- 何が、どこに、どのような状態で存在するかわかります
- 機能発現のメカニズムをリアルにとらえます