透過型電子顕微鏡
Transmission Electron Microscopy（TEM）
概要
透過電子顕微鏡は、薄膜試料に電子線を透過させ、その際に試料中の原子により散乱・回折された電子を透過電子像として観察する装置です。電子線は試料（密度や結晶状態）により散乱・回折が異なることでコントラストが得られ、試料の内部構造を観察することができます〔図1〕。
特徴
- 高分子材料の形態観察（モルフォロジー観察）に有効。
- 電子染色により、組成を反映したコントラストとしてTEM観察が可能。
- 薄膜の厚み測定（下塗り層の厚みなど）が可能。
測定対象試料とサイズ
材料全般（ポリマー・無機・複合などの各種材料）
（高真空下において変形・変質するものやガスを放出するものは観察に向きません。）
試料を電子線が透過可能な厚さ（約0.1µm）に加工できることが必須。
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