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走査型プロ―ブ顕微鏡

Scanning Probe Microscope(SPM)

走査型プロ―ブ顕微鏡

概要

カンチレバーと呼ばれる微小な板バネ先端に取り付けた探針(プローブ)と試料表面との間に働く様々な物理量を検知し、表面形状および物性マッピング測定を行うことができる装置です。

特徴

  • 三次元形状粗さ解析
  • 物性マッピング(電流像、抵抗像、電気力勾配像、電位像、磁気力勾配像、熱伝導像、粘弾性像、摩擦像、弾性率像など)
  • 局所熱分析(ナノTA)
  • 環境制御下測定(真空、温度、湿度、液中)
  • 引張試験

測定対象試料とサイズ

ポリマー、金属などの固体
試料サイズ:最大 20cmΦ × 高さ 2cm
測定範囲 :平面方向 0.5µm ~ 150µm
      垂直方向 0.1nm ~ 15µm

SPMの装置構成概略
SPMの装置構成概略

分析事例一覧

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