走査型プロ―ブ顕微鏡
Scanning Probe Microscope（SPM）
概要
カンチレバーと呼ばれる微小な板バネ先端に取り付けた探針（プローブ）と試料表面との間に働く様々な物理量を検知し、表面形状および物性マッピング測定を行うことができる装置です。
特徴
- 三次元形状粗さ解析
- 物性マッピング（電流像、抵抗像、電気力勾配像、電位像、磁気力勾配像、熱伝導像、粘弾性像、摩擦像、吸着力像など）
- 局所熱分析（ナノTA）
- 環境制御下測定（真空、温度、湿度、液中）
測定対象試料とサイズ
ポリマー、金属などの固体
試料サイズ：最大約15×15×7mm
測定範囲 ：平面方向 0.5µm□～150µm□
垂直方向 0.1nm～15µm
分析事例一覧
- 材料表面へのタンパク質吸着性が評価できます
- 高分子の表面転移温度がわかります
- フィッシュアイの局所熱分析ができます
- 極表面領域における弾性率の深さ依存性がわかります
- AFMを用いて局所弾性率算出ができます
- 表面弾性率の局所イメージングができます
- 極薄局所領域の欠陥が可視化できます
- 高分子相分離構造の温度依存性がわかります
- 原子ステップの観察ができます
- 熱伝導性の違いで高分子のミクロ相分離構造が観察できます
- 導電性フィラーの分散性と導電パスの同一視野観察ができます
- ナノ～ミクロンオーダーの分極状態がわかります
- 有機EL材料のバンド曲がりを評価できます
- リチウムイオン電池正極の導電分布の可視化ができます
- ナノ～ミクロンオーダーの電流分布がわかります
- ナノ～ミクロンオーダーの磁区構造がわかります
- ナノ～ミクロンオーダーの仕事関数分布がわかります
- サブミクロン～ミクロンオーダーの熱伝導性の二次元分布がわかります
- ピンポイントの熱物性評価ができます
- ナノ薄膜の熱物性評価ができます
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